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·应用场景:单晶硅炉、离子注入机、化学气相沉积(CVD)设备、真空机械手等。
·高洁净度:磁流体密封无摩擦、无颗粒产生,满足半导体制造对“零颗粒”的严苛要求。
·高精度:在高速旋转和平移运动中保持稳定性,减少震动和热膨胀对设备精度的影响。
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